BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計 - 湖北嘉兴亚丰机械制造有限公司(H5网站)

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BROOKS 質量(liang)流量控制器 GP200系列(lie)簡介
所有的表現(xiàn)。沒有任何限制。
GP200 系(xì)列是第一款完全(quán)不敏感的基于壓(ya)力的質量流量控(kòng)制器🍉 (P-MFC)，專為半導體(ti)制造中的先進蝕(shí)刻和沉積工藝🏒而(er)設計。
GP200 系列 P-MFC 采用技(ji)術架構，克服了傳(chuan)統 P-MFC 的局限性，即使(shi)在⛱️輸送低蒸氣⭐壓(ya)工藝氣體時也能(neng)提供最精确的工(gong)藝氣㊙️體輸送。它包(bao)括幾個獨特的設(she)計方面，包括與下(xia)遊閥🛀🏻門架構相結(jié)合🔞的集成壓差傳(chuan)感器，可在行業中(zhōng)最廣泛的操作條(tiáo)件下實⛹🏻‍♀️現最精确(què)的工藝氣體輸送(sòng)。
由于 GP200 系列支持如(ru)此廣泛的工藝條(tiao)件，它可以用作許(xu)♌多傳🐉統 P-MFC 和🏃🏻熱 MFC 的直(zhi)接替代和升級。它(tā)降低了氣體輸送(song)💔系統的複✍️雜性和(hé)擁有成本，因為它(tā)消除了對壓力調(diao)節器和傳感器等(děng)組件的需求。

特征(zhēng)
真正的差壓測量(liàng)
降低入口壓力運(yùn)行
下遊閥門結構(gòu)
匹配的瞬态響應(yīng)
零洩漏控制閥
MultiFlo TM技(jì)術提供了無與倫(lun)比的靈活性——一個(ge)設備可以針對✂️數(shu)👅千種不同的氣體(ti)和流量範圍配置(zhi)進行編程，而無需(xu)從氣體管線中移(yí)除 MFC 或影響精度
本(běn)地顯示顯示流量(liàng)、溫度、壓力和網絡(luo)地址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口(kou)
好處
通過消除匹(pǐ)配和補償兩個獨(dú)立壓力傳感器的(de)要求，GP200 差壓技術降(jiang)低了測量不确定(dìng)性，從而提高了準(zhǔn)确性🌈、可重複性🔴和(hé)漂移性能。
由于專(zhuan)為低壓差測量而(ér)優化的 GP200 差壓傳感(gǎn)器，現在使用 P-MFC 可以(yǐ)在🤞較低的入口壓(yā)力下實現更安全(quán)的晶圓廠操作。
下(xia)遊閥門結構确保(bao)精度獨立于下遊(yóu)壓力，使流量輸🔱送(song)到高達 1200 Torr 的壓力。快(kuài)速關閉閥門解決(jué)了上遊 MFC 閥🈲門設計(ji)中出現的非生産(chan)性配方等待時間(jian)或“尾部效應”，這🏃些(xie)閥門需要額外的(de)時間來排🏃‍♀️出其内(nèi)部氣體體積。
超快(kuai)、高度可重複的上(shàng)升和下降流動穩(wěn)定時間可🌈在先進(jìn)😄的高循環沉積和(hé)蝕刻工藝中實現(xian)更嚴格的工藝控(kòng)制。
閥門關閉性能(neng)提高 100 倍
使用 MultiFlo TM，MFC 滿量(liang)程流量範圍通常(chang)可以按 3:1 的系數重(zhòng)新按💚比例縮小，而(ér)不會影響精度、量(liang)程比或規格洩漏(lou)，以實現🏃🏻‍♂️最佳❗工藝(yì)和庫存靈🤩活性
方(fāng)便的用戶顯示和(he)獨立的診斷/服務(wu)端口有助于設備(bei)安裝、監控和故障(zhang)排除
主要應用
半(ban)導體制造
蝕刻
化(hua)學氣相沉積 (CVD)
需要(yào)高純度全金屬流(liu)路的氣流控制應(yīng)用

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