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品(pǐn)  牌:
Polytec 
産  地(dì):
德國 
型(xing)  号:
Polytec MSA-650 IRIS激光(guāng)振測儀(yi) 
技術資(zi)料:
産品(pǐn)資料下(xia)載中心(xin)
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    應用光(guang)學檢測(cè)矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jian)内部結(jie)構振動(dòng)特點
    MEMS元(yuán)器件的(de)信息特(te)點檢測(ce)和機械(xie)設備回(hui)應數據(ju)可視化(hua)針🔞對産(chan)品研發(fā)、常見故(gu)障解決(jue)和有限(xian)元分析(xi)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻實體模(mó)型認證(zheng)🈚而言十(shi)分關鍵(jian)。
    Polytec企業的(de)MSA顯微鏡(jìng)式激光(guang)測振儀(yi)能迅速(su)、精确地(dì)檢測超(chao)微結構(gòu)🌍的面外(wai)振動(OOP)揉(róu)面内振(zhen)動(IP)。
    全新(xin)升級的(de)MSA-650IRIS顯微鏡(jìng)式激光(guang)測振儀(yi)乃至可(ke)以通過(guò)完善的(de)小💋型矽(xi)密封性(xing)元器件(jian)開展檢(jiǎn)測,如慣(guan)性力傳(chuan)感器,MEMS話(huà)筒,工✌️作(zuo)壓力傳(chuán)感器等(deng)。
    根據矽(xī)封裝元(yuán)器件的(de)不一樣(yàng)層檢測(cè)MEMS動态性(xìng)特點
    即(ji)時面外(wai)振動檢(jian)測,較大(da)網絡帶(dài)寬達到(dao)25MHz
    亞皮米(mǐ)級面外(wài)振動偏(piān)移屏幕(mù)分辨率(lǜ)
    MEMS元器件(jiàn)的最後(hou)有限元(yuán)分析實(shi)體模型(xíng)認證
    能(néng)夠更好(hǎo)地分離(lí)出來元(yuán)器件的(de)每個層(ceng)
    頻閃法(fǎ)檢測平(píng)行面振(zhen)動,網絡(luo)帶寬達(da)到2.5MHz
    便于(yú)集成化(huà)至生産(chǎn)流水線(xiàn)的自動(dong)測量系(xì)統軟件(jiàn)(兼容商(shang)🤞業探針(zhēn)台)
    能夠(gòu)更好地(dì)分離出(chu)來元器(qì)件的每(mei)個層

    特(tè)點
    MSA-650IRIS檢測(cè)系統軟(ruǎn)件包含(hán)控制闆(pan)、含有附(fu)加參照(zhao)安全通(tong)道的🔴頻(pin)率計,極(jí)高精密(mi)度紅外(wai)光源的(de)光學頭(tóu)和強有(you)力♻️的配(pèi)套設♊施(shi)程序包(bao)。
    其專用(yòng)型的紅(hóng)外相機(jī)和低相(xiang)關SLD源,是(shì)在其通(tōng)過矽帽(mào)獲得⭐詳(xiáng)細矽封(fēng)裝構造(zào)在作業(yè)情況下(xià)的全部(bu)層制構(gou)造的信(xìn)息性能(neng)的重要(yào)。
    矽封裝(zhuang)MEMS元器件(jian)的多形(xíng)式檢測(ce)
    因為矽(xī)在光波(bo)長為1050nm以(yǐ)上的近(jìn)紅外光(guang)譜中是(shi)通透的(de)⭐,根據紅(hóng)外線幹(gan)涉儀的(de)振動精(jing)确測量(liang)技術性(xìng)促㊙️使獲(huò)得密🐅封(feng)性MEMS元器(qì)件最真(zhen)正和最(zui)有象征(zheng)性的振(zhèn)動特點(dian)🐉變成很(hen)有可能(néng)。
    Polytec全新升(sheng)級的最(zuì)現代化(huà)的且已(yǐ)得到發(fā)明的MSA系(xì)統軟件(jiàn)能保證(zheng)最好網(wǎng)站安全(quán)性,更強(qiang)的分離(lí)出來MEMS元(yuan)器件的(de)每個層(céng)。MSA-650IRIS顯微鏡(jìng)式激光(guāng)測振儀(yí)内嵌專(zhuān)用型紅(hóng)🌈外相機(ji)和低相(xiang)關SLD源,是(shì)🛀當前通(tong)🐉過矽封(fēng)裝構造(zào)獲得詳(xiáng)細動态(tai)✊性性能(neng)的系統(tong)軟件,實(shí)際上時(shí)面外振(zhèn)動網絡(luò)帶寬達(da)到25MHz,平行(hang)面振動(dòng)屏幕分(fèn)辨率低(di)至30nm。

     
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